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OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計,過濾精度高達0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...
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